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洁净室检测 |
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咨询内容 |
竣工验收 |
类型 |
工程咨询 |
乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,级。
优点:构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
层流式(Laminar):
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，-般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单，运转后短时间内即可变成稳定
缺点:建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器夏盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响基它工作区域。
优点:管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响，
缺点:构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高
至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大
都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A,弹性扩充容易:B,维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适直使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级Class 1~100级
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
1、发尘量
洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内;产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略;由于金属半壁(彩钢夹心板)的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘量也不断减少。
A、材质:棉质发尘量大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式:大挂式发尘量大，上下分装型次之，全置型少;
C、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍;
D、清洗:用容剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一，
室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
洁净室里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及-些其他的设施。HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。
对已建成工厂的改建通常会陷入到室无意义的经济漩涡当中。升级的投资收回率通常比直接购买新设备要高很多。大部分工厂设备翻新的投资回收期不超过两年。也就是说，通常投资收回率至少是50%，对照投资新的固定资产，则只有10%到15%(即投资回收期需要七年时间)。
虽然初步设计报价昂贵，但是经济翻新的可能性仍然存在。设备翻新的投资回收期不超过两年，总体而言，在某种程度上投资收回率是较高的。
下面是新建和现有工厂提供解决能效的十个技巧，不但提供了可靠的技术，风险也小、而且费用低或者不需要花钱，而投资回收期又很吸引人。
洁净室
clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
洁净区clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱人、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。
