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真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用次级电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子

“四合一气体”通常指的是一种能够同时检测四种气体的检测设备或系统。这四种气体通常包括可燃气体（如甲烷、乙炔等）、氧气、一氧化碳和硫化氢。这些气体在工业环境中都是常见的，且可能对工作人员的安全构成威胁。

1. **可燃气体**：如甲烷、乙炔等，这些气体在达到一定的浓度时可能引发爆炸或火灾。
2. **氧气**：检测氧气是为了确保环境中的氧气含量适中。过低的氧气含量可能导致人员窒息，而过高的氧气含量则可能加剧火灾的风险。
3. **一氧化碳**：这是一种无色、无味、有毒的气体，能够与血红蛋白结合，阻止氧气进入血液，从而导致人员中毒。
4. **硫化氢**：这是一种剧毒、酸性气体，具有臭鸡蛋气味。即使是低浓度的硫化氢也可能对人体造成伤害，高浓度时甚至可能致命。

四合一气体检测仪通常被用于各种工业环境，如石油化工、煤矿、隧道施工等，以确保工作人员的安全。这些设备能够实时监测环境中的气体浓度，并在达到危险水平时发出警报，从而及时提醒工作人员采取必要的防护措施或撤离危险区域。