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天津芯片厂第三方NEBB测试认证验收资质

更新时间:2024-06-04 09:28:15 信息编号:5a2he1jlo0c8a9
天津芯片厂第三方NEBB测试认证验收资质
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  • 第三方NEBB测试认证验收

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第三方NEBB测试认证验收,NEBB测试,NEBB验收,第三方认证
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天津芯片厂第三方NEBB测试认证验收资质

检测洁净厂房综合性能检测,洁净室风量测量方法

  1、 单向流洁净室风量测量:

  垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室的风量按截面平均风速与截面面积的乘积计算。

  对于空气洁净度等级严于5级(100级)的单向流洁净室在开门时,门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值A、室内测试人员穿洁净服,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。C、检测前和检测后设备“清零”E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。

  2、 非单向流洁净室风量测量:

  非单向流洁净室的风量可采用风道法和风口法进行测量

  a、 风管法测风量:

  洁净厂房综合性能检测机构天杭空气质量检测,用风道法测量风量时,气流应相对均匀、稳定,并应选择距局部阻力的距离。局部阻力前测量截面时,不应小于风管直径长度的3倍;局部阻力后测量截面时,不应小于风管长边长度的5倍。

  对于矩形风管,应将被测截面分成若干相等的小截面,尽可能接近正方形,边长不应大于200mm。测量点在小截面的中心。整个测量段的测点数量不少于3个。

  对于圆形风管,测量段被分成几个面积相等的同心环。每个环有4个测点,4个测点应在两个相互垂直的直径上。

  b、 风口法测风量:

  机构天杭空气质量检测洁净厂房综合性能检测在施工验收规范jgj71中,有两种方法:一种是带过滤器的出风口,根据出风口的类型选择与出风口截面相同的副风管,其长度为出风口边长的两倍,与被测物的外侧相接风口。在副风管出口表面至少设置6个测点,用热球风速仪测量各点风速,然后取截面平均风速乘以风口净面积计算风量。另一种方法是对于同一种扩压器的出风口,根据扩压器的阻力曲线和扩压器的实测阻力求出风口的风量。

  洁净室检测中的沉降菌测试目的,就是证明洁净室中的沉降菌符合设计要求,沉降菌的检测方法,参考GBT16294-2010医药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法。这种采集方法,依靠空气中的粒子自然沉降于琼脂平板,由于粒子沉降的速度很慢,所以培养基平皿就需要在空气中暴露很长时间,一般培养平皿暴露时间不超过4h。

  洁净室的检测主要是指对洁净室或洁净区域的空气洁净度等级进行测定,生物洁净室还要进行浮游菌、沉降菌的测试。在工程建设过程中的检测主要包括工程竣工验收和洁净室综合性能评定两个阶段的检测。在洁净厂房使用过程中,应对洁净室或洁净区域进行监测,并定期进行综合性能测试,以认证该洁净室或洁净区域是否始终符合要求。

洁净室的定义,早是在美国联邦标准209上出现,之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。到了90年代后期,产业界体认到若是无共同标准,就不能实现经济的化,于是有ISO-14644的产生。以下说明洁净室的各种标准与规范。

  Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美国联邦标准209E,209的出版发行,是在1960年代,之后不断改版以因应科技进步与工业发展,版本从原始的209、209A,一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日,美国正式宣布废止209E,改用ISO-14644,于是209E在书面上走入历史。但是在产业界,除了部份的欧洲公司之外,美国、日本、台湾、与中国大陆,都还沿用209E。

  ISO-14644系列;美国为了推动经济化,就很大方的放弃了自己的209E,改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题,称为14644-1,14644-2,一直到14644-9。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等,范围很广。

  JIS B9920 (1989):日本的洁净标准,规定洁净室中浮游粒子的浓度测定方式,及洁净度的等级定义。

  VDI 2083 (1993):德国的洁净标准,规定洁净度等级的定义方式,以及洁净度的量测技术。

  Gost-R 50766 (1995):俄国的洁净标准,定义洁净室的分类与一般需求。

  以上是洁净室等级规定,与洁净度量测的相关标准。另外有关洁净室污染控制(也就是洁净度控制),和环境控制(如温湿度、震动噪音等),也有一些重要的测试规范,因为这些环境影响因素,都包含在洁净室性能测试的范围之内。

  IEST-RP-CC-006.2:这本有名的测试规范,目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测,006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的版称为006-84-T,006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起,0062已经功成身退,逐渐消失了。

  NEBB 洁净室测试规范第二版:这是目前广为流行的测试规范,提到洁净室认证,就非 NEBB 莫属。NEBB 洁净室测试规范,可说是IEST-0062的改良版,其测试涵盖范围差不多,但是测试程序更为清楚严谨,仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 洁净室测试规范的出现,解决了不少测试的争议,也因此 NEBB 洁净室测试规范成功的成为产业标准。

  ISO-14698 系列:14698 有三个子题,是有关生物污染的控制。

  每一种行业,甚至每一家公司或工厂,对洁净室的要求可能都不一样。

洁净室风量和风速的检测方法

  1、洁净室风量、风速检测首行,净化空调各项效果,是在设计的风量、风速条件下获得。

  2、风量检测前,检查风机运行是否正常,系统中个部件安装是否正确,有无障碍(如过滤器有无被堵、挡),所有阀门应固定在一定的开启位置上,并且实际测量被测风口,风管尺寸。

  3、对于单向流(层流)洁净室,采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。其中垂直单向流(层流)洁净室的测定截面积,取距地面0.8米的水平截面。水平单向流(层流)洁净室,取距送风面0.5米的垂直截面。截面上测点间距,不应大于2米,测点数应不小于10个,均匀布置。仪器用热球风速仪。

  4、对于乱流洁净室,采用风口法或风管法确定送风量。作法分别见第6项,第7项和第8项。

  5、对于不安装过滤器的风口,可按现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243附录一的方法执行。

  6、对于安有过滤器的风口,根据风口形势可选用辅助风管,即用硬质板材做成与风口内截面相同,长度等于2倍风口边长的直管段,连接于过滤器风口外部,在辅助风管出口平面上,按少测点数不少于6点均匀布置测点,用热球风速仪测定各点风速,以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。

  7、对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力曲线(出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线)和实测扩散板阻力(孔板内静压与室内压力之差)查出风量。测定时用微压计和细毕托管,或用细橡胶管代替毕托管,但都使测孔平面与气流方向平行。此外,也可以采用经检测部门认可的其他方法。

  8、对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以扎孔时,可以用风管法确定风量,测定断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件前者不少于3倍管径或3倍大边长度。在局部阻力部件后者不少于5倍管径或5倍大边长度。

  9、对于矩形风管,将测定截面分成若干个相等的小截面,每个小截面尽可能接近正方形,边长好不大于200毫米,测点设于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。在风管外壁上开孔以便插入热球式风速仪测杆或毕托管,用毕托管时先测定动压,然后由下式确定风量:

  式中:Q——风量m3 / s

  F ——管道截面积; m2

  Pd1⋯Pdn——各点动压; Pa

洁净室漏光法检测与漏风量测试方法

  A.1洁净室漏光法检测

  A.1.1漏光法检测是利用光线对小孔的强穿透力,对系统风管严密程度进行检测的方法。

  A.1.2检测应采用具有一定强度的安全光源。手持移动光源可采用不低于100W带保护罩的低压照明灯,或其他低压光源。

  A.1.3系统风管漏光检测时,光源可置于风管内侧或外侧,但其相对侧应为暗黑环境。检测光源应沿着被检测接口部位与接缝作缓慢移动,在另一侧进行观察,当发现有光线射出,则说明查到明显漏风处,并应做好记录。

  A.1.4对系统风管的检测,宜采用分段检测、汇总分析的方法。在严格安装质量管理的基础上,系统风管的检测以总管和干管为主。当采用漏光法检测系统的严密性时,低压系统风管以每10m接缝,漏光点不大于2处,且100m接缝平均不大于16处为合格;中压系统风管每10m接缝,漏光点不大于1处,且100m接缝平均不大于8处为合格。

  A.1.5漏光检测中对发现的条缝形漏光,应作密封处理。

  A.2测试装置

  A.2.1漏风量测试应采用经检验合格的测量仪器,或采用符合现行国家标准《流量测量节流装置》规定的计量元件搭设的测量装置。

  A.2.2漏风量测试装置可采用风管式或风室式。风管式测试装置采用孔板做计量元件;风室式测试装置采用喷嘴做计量元件。

  A.2.3漏风量测试装置的风机,其风压和风量应选择分别大于被测定系统或设备的规定试验压力及大允许漏风量的1.2倍。

  A.2.4漏风量测试装置试验压力的调节,可采用调整风机转速的方法,也可采用控制节流装置开度的方法。漏风量值在系统经调整后,保持稳压的条件下测得。

  A.2.5漏风量测试装置的压差测定应采用微压计,其小读数分格不应大于2.0Pa。

  A.2.6风管式漏风量测试装置:

  1、风管式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、整流栅、节流器和标准孔板等组成。

  2、本装置采用角接取压的标准孔板。孔板β值范围为0.22~0.7(β=d/D);孔板至前、后整流栅及整流栅外直管段距离,应分别符合大于10倍和5倍圆管直径D的规定。

  3、本装置的连接风管均为光滑圆管。孔板至上游2D范围内其圆度允许偏差为0.3%;下游为2%。

  4、孔板与风管连接,其前端与管道轴线垂直度允许偏差为1°;孔板与风管同心度允许偏差为0.015D。

  5、在整流栅后,所有连接部分应该严密不漏。

  6、孔板的流量系数与β值的关系确定,其适用范围应满足下列条件,在此范围内,不计管道粗糙度对流量系数的影响。

  105
  0.05<β≤0.49

  50mm
  雷诺数小于105时,则应按现行国家标准《流量测量节流装置》求得流量系数α。

  8、孔板的空气流束膨胀系数ε值查得。

  表A.2.6 采用角接取压标准孔流束膨胀系数ε值(k=1.4)

  9、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时,装置连接应符合规定。

  A.2.7、风室式漏风量测试装置:

  1、风室式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、均流板、节流器、风室、隔板和喷嘴等组成。

  2、测试装置采用标准长劲喷嘴。喷嘴按要求安装在隔板上,数量可为单个或多个。两个喷嘴之间的中心距离不得小于较大喷嘴喉部直径的3倍;任一喷嘴中心到风室近侧壁的距离不得小于其喷嘴喉部直径的1.5倍。

  3、风室的断面面积不应小于被测定风量按断面平均速度小于0.75m/s时的断面积。风室内均流板(多孔板)安装位置应符合规定。

  4、风室中喷嘴两端的静压取压接口,应为多个且均布于四壁。静压取压接口至喷嘴隔板的距离不得大于小喷嘴喉部直径的1.5倍。然后,并联成静压环,再与测压仪器相接。

  5、平共处采用本装置测定漏风量时,通过喷嘴喉部的流速应控制在15~35m/s范围内。

  6、本装置要求风室中喷嘴隔板后的所有连接部分应严密不漏。

  表A.2.7喷嘴流量系数表

  8、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时,装置连接应符合规定。

  A.3、漏风量的测试

  A.3.1、正压或负压系统风管与设备的漏风量测试,分正压试验和负压试验两类。一般可采用正压条件下的测试来检验。

  A.3.2、系统漏风量测试可以整体或分段进行。测试时,被测系统的所有开口均应封闭,不应漏风。

  A.3.3、被测系统的漏风量超过设计和本规范的规定时,应查出漏风部位(可用听、摸、观察、水或烟检漏),做好标记;修补完工后,重新测试,直至合格。

  A.3.4、漏风量测定值一般应为规定测试压力下的实测数值。特殊条件下,也可用相近或大于规定压力下的测试代替,其漏风量可按下式换算:

  Q0=Q(P0/P)0.65

  式中 P0————规定试验压力,500Pa;

  Q0————规定试验压力下的漏风量{m3/(h·┫)};

  P——风管工作压力(Pa);

  Q——工作压力下的漏风量{m3/(h·┫)}。

  附录B 洁净室测试方法

  B.1、风量或风速的检测

  B.1.1、对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离过滤器0.3m,垂直于气流的截面作为采样测试截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数不应少于5个,以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

  B.1.2、对于非单向流洁净室,采用风口法或风管法确定送风量,做法如下:

  1、风口法是在安装有过滤器的风口处,根据风口开头连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口开头及内截面相同,长度等于2倍风口长边长的直管段,连接于风口外部。在辅助风管出口平面上,按少测点数不少于6点均匀布置,使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后,以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。

  2、对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以钻孔时,可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长,局部阻力部件后5部管径或长边长的部位。

  对于矩形风管,是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形,边长不应大于200mm,测点应位于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3个。

  对于圆形风管,应根据管径大小,将截面划分成若干个面积相同的同心圆环,每个圆环测4点。根据管径确定圆环数量,不宜少于3个。

  B.2、洁净室静压差的检测

  B.2.1、静压差的测定应在所有的门关闭的条件下,由高压向低压,由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测定。

  B.2.2、采用的微差压力计,其灵敏度不应低于2.0Pa。

  B.2.3、有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室,其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时,可用热球风速仪检测。

洁净室自净时间测定规程

  1.目的:制订本标准的目的是建立洁净室自净时间测定规程,检测洁净室受到污染后恢复标准要求的洁净度的能力。

  2. 依据:国家药品监督管理局《药品生产质量管理规范》(1998年修订)附录一人民共和国行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》

  3. 范围: 本标准适用于洁净室自净时间的检测。

  4. 责任:工程部公用工程组操作人员对本标准的实施负责。

  5. 正文:

  5.1. 测试仪表:发烟器;悬浮粒子计数器。

  5.2. 洁净室自净时间的测定应在洁净室停止运行相当时间,室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定,可用发烟器人工发烟。

  5.3. 以大气尘浓度为基准时:

  5.3.1. 先测出洁净室内浓度(N0)。

  5.3.2. 立即开机运行,将悬浮粒子计数器的采样管放在工作区高度上,定时(如每0.5分钟)读数,直至浓度达低限度(N)或符合相应洁净度级别的要求为止,这一段时间即为实测自净时间。

  5.4. 以人工发烟(如发巴兰香烟)为基准时:

  5.4.1. 应将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点,发烟1~2分钟即停止。

  5.4.2. 1分钟后,在工作区平面的中心点测定含尘浓度(N0),作为基准。立即开机运行并计时,定时(如每0.5分钟)读数,直至浓度达到低限度(N)或符合相应洁净度级别的要求为止,以这一段时间为实测自净时间。

  5.5. 由测得的开机前的原始浓度或发烟停止后1分钟的污染浓度(N0)、室内达到稳定时的浓度(N)和实际换气次数(n),查附图1得出计算自净时间。

  5.6. 实测自净时间应不大于计算自净时间得1.2倍。 6. 附则:

  6.1.本标准附图 幅,附表 张。

  6.2. 需要引用本标准的标准文件登记:

NEBB检测认证风速测试流程
测前准备:
(1)竣工图面(初版)与相关规范确认。
(2)洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
(3)测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转24小时以上。(包含新风空调箱单机试运转完成,FFU、风机盘管单机运转测试完成,自动控制完成且可监控,排气系统测试单机测试运转完成。)
(4)洁净室环境需清洁完成。
(5)测试进行时业主或监造单位应有代表在场,现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的:此检测动作在于确认滤网出口风速是否达到设计要求。
法规依据:IEST推荐做法,参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器:风速仪,型号:ADM-870C
测试位置:每一滤网均作测试,每个滤网被划分成四个测试位置。
测试步骤:a.确认FFU配置图及滤网编号。
b.将风速仪探棒固定置于滤网测试点下方75mm处,待数值稳定后量测5秒取平均值记录。

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