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密闭性测试
1.测试目的：
测定洁净室（区）有无受污染的空气从周围具有相同或不同静压的较低洁净度等级的洁净室（区）或非洁净室（区）侵入。
2.测试依据：
《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2008
3.测试工具：
激光粒子计数器、巴兰香
4.测试范围：
洁净室（区）的施工接缝，包括对墙板、吊顶的接缝和管线、灯具等的接缝
5.测试方法：
检测时先测量被测围护结构表面所处洁净室区的悬浮粒子浓度。然后测量紧靠被测围护结构表面外部的悬浮粒子浓度，一般此浓度应比洁净室（区）内浓度大104，并大于等于 3. 5×106个/m3待测粒径的粒子，如果悬浮粒子浓度不够，采用巴兰香发烟，提高浓度。再在被测部位的50~100mm处扫描，扫描速度为50mm/s。
6.验收标准：
紧靠被测表面内部的悬浮粒子浓度应不大于外部相同粒径粒子浓度的10-3倍。
泄漏测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：滤网安装后在出风处进行全面泄漏扫描，检查滤网是否于运送或安装过程中破裂或损坏，以达到设计要求。
法规依据：IEST推荐做法，参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器：颗粒测试仪（品牌 MET ONE），型号：3313、3413、2100、2400。
测试位置：在每一滤网下方做全面泄漏扫描，泄漏扫描仪应放置在滤网正下方约25mm的地方进行扫描。
测试步骤：
a.启动FFU，并调整其送风量维持在规格范围内。
b.确认FFU配置图及滤网编号。
c.利用微粒子计数器之探测棒置于滤网下约25mm，以50mm/s之速率沿着滤网之表面有规律之全面扫描（每块扫描的时间约在10分钟左右）。
d.泄漏扫描器在滤网下方逐一进行扫描时，如侦测到微粒子时，泄漏扫描器会自动鸣叫，此时将泄漏扫描器移回鸣叫点位置且扫描5秒以上，如没有继续鸣叫，表示无泄漏疑虑，此时可继续依规定路径扫描，直到扫描结束为止。
合格标准：将视现场的状况来判断，若以天花板上方静压室内微粒子数维持在100.000 Particles/ft3@ 0.3µm，则累计10个以上之0.3µm微粒时，便可判定泄漏。
修补：a.总修补面积需小于滤网表面积3%以下。
b.单点修补大尺寸不可超过38mm。
一. 说明
气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。?
泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。
二. 测试仪器?
本测试法使用仪器为气胶光度计（Aerosol Photometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正。 ?
三. 测试方式
滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下
1.在图面上记录滤网数量并编号。
2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。?
3.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。
4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确
5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.
