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尘室设计时,要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程,人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此,希望在不影响产品和生产进度的前提下,对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下,制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开,要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的,一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提,对除去大颗粒异物,玻璃碎屑效果明显,但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行,以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA(滤网)、ULPA(低效滤网)及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器,在拖地时和拖完后,地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除,起到干燥作用。
墙壁、门、送风口、窗、侧面
在单一方向气流的无尘室内,产品生产作业时不要清扫送风口附近区域,要在停止作业时或产品移出该区域后,再或者将产品覆盖保护之后再进行清扫。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清扫的清洁方式。具体方法根据洁净度要求而定。非单一方向气流的无尘室内,好在没有生产作业时再进行清洁。