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高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。?高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。GBT14599-2008纯氧、高纯氧和超纯氧GB_T3634.2-2011GBT8979-2008纯氮、高纯氮和超纯氮GB_T4844-2011纯氦、高纯氦和超纯氦GBT4842-2006氩HGT3633-1999纯甲烷GBT23938-2009高纯二氧化碳
