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尘室设计时，要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程，人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此，希望在不影响产品和生产进度的前提下，对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下，制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开，要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
无尘室内，区域及接触面的洁净度希望能够按照对产品及生产过程的影响程度进行分类，制定相关的分类标准和对应的清洁标准，并按照不同类别有针对性的进行清洁。
真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
天花板、出风口、照明器具
靠近送风口附近的天花板和其他固定器具，在生产作业时不要清扫。送风口和天花板网格线要深入清洁。送风口的滤网可取下清洗或是更换。更换照明灯管前要先擦拭干净。
桌子、其他重要的水平接触面
桌子、其他重要的水平接触面按照以上介绍的清扫方法选择合适的方式进行。使用药液从区域向一般区域方向擦拭，除去脏污。
椅子、家具
擦拭按从上到下的顺序进行。垫子、支架及车轮也在清扫的范围之内。
日常清扫是为了防止异物污染到重要区域，按照合适的频率实行的所有相关的作业。无尘室清扫根据洁净程度评估，按照一日数次，一日一次或是数日一次的频率进行。更衣室、搬入区、大厅等的公共区域去除废弃物采取的真空除尘器，地面水拖拭，其他表面擦拭等是可以在生产作业时间内进行的。无尘室各个房间，按照产品和制造工程的重要度，对清扫流程进行的规定并文件化。更衣室和活动区域至少要一天一次清扫，因为这些区域都是人员活动密集区，异物聚集程度很高。因此，为了确保洁净度，防止异物转移污染，这些区域要比无尘室内一般区域清扫频度高，像无尘室区域一样频繁的清扫。
