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研磨液成分检测
英格尔研磨液成分检测机构
磨削和研磨等磨料处理是半导体芯片加工过程中的一项重要工艺,它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工。
研磨处理
运用硬度比被加工资料更高的微米级颗粒,在硬质研磨盘效果下产生微切削,实现被加工芯片外表的微量资料去除,使工件的尺寸精度到达要求。
磨料:研磨液一般运用1微米以上颗粒由外表活性剂、PH调节剂、分散剂等组分组成,各组分发挥着不同的效果。
研磨液的效果:研磨液少量滴入滚筒内被水搅匀后,在光整时会粘附在零件与磨料的外表,其效果如下: ①软化效果:即对金属外表氧化膜的化学作用,使其软化,易于从外表研磨除掉,以进步研磨功率。 ②光滑作用:象研磨光滑油相同,在研磨块和金属零件之间起光滑效果,然后得到光洁的外表。 ③洗刷效果:像洗刷剂相同,能除掉金属零件外表的油污。 ④防锈效果:研磨加工后的零件,未清洗前在短时间 内具有一定的防锈效果。 ⑤缓冲效果:在光整加工运转中,与水一起搅动,会缓解零件之间的相互碰击。
随着半导体行业的发展,研磨液的需求也在增加,因此,相关产品生产企业更要不断的开发适应新要求新工艺的新型研磨液,企业不管在生产和研制,还是对研磨液和抛光液的检测方面都需要更加的。
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