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工业CT常用的射线源是X射线机和直线加速器，统称电子辐射发生器。
X射线机和直线加速器产生X射线的机理大体相同，都是利用高速电子轰击靶物质的过程中，电子突然减速引起的所谓轫致辐射除轫致辐射以外，高速电子和靶物质的内层电子作用时还可能发生一些特征辐射。特征辐射的能量与靶材料原子序数有关，大致在数千电子伏到数十千电子伏的范围，市售X射线机的峰值射线能量范围从数十千电子伏到450keV。工业CT由于内在性能的要求，对X射线机的基本要求除了合适的高工作电压以外，还要求足够的电流强度、较小的焦点、良好的稳定性和可靠性。常见的X射线机按焦点尺寸可分为纳米射线管、微米射线管、小焦点射线管、常规焦点射线管等。
工业CT的优势：
虚拟的样件切割X射线CT可以对扫描样件进行任意方虚拟切割，实现高分辨率可视化，并进行分辨率内任意厚度的切片分析。
单次扫描-多种数据分析
一次扫描，可以进行多种分析：尺寸测量、材料特征、缺陷分析和内部结构的无损检测。
检测和复制任何零件
X射线CT可以提供零件内部和外部特征的详细透视数据。即使CAD模型无法使用，也可以通过提取零件点云数据，轻松地复制零件。
无损检测学科几乎涉及到了物理科学中的光学、电磁学、声学、原子物理学以及计算机、数据通讯等学科，在冶金、机械、石油、化工、航空、航天各个领域有广泛的应用。
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