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氦检漏 |
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众所周知，在元素周期表中，氦（He）的相对分子质量是除氢（H）以外小的，是轻的惰性气体。气体管道的氦气检漏（氦检）利用的就是这一点。
1.高纯度散装气体管道氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。
2.向内检漏法（氦气注入法）是通过内部吸入高纯度气体管线，外部喷射氦气来进行的。
3.检测阀座泄漏的方法在阀门前充入氦气，并在下游抽真空。
4.使用朝外检漏法（吸枪法）在高纯度气体管线内填充氦气或氦氮混合物，并使用外部吸枪检查可能的泄漏点。
5.氦检漏仪是质谱氦检漏器，检测精度不低于1
高纯气体氦气检漏的泄漏率应符合下列要求：
（1）通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s；
（2）阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s；
（3）向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s
7.氦检漏发现的泄漏点修复后，重新进行气密性试验，合格后，再按规定进行氦检漏。
8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热。
9.系统测试后，用高纯度氮气或氩气填充和清洁。
10.检查后，应提交试验报告。
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