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真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
桌子、其他重要的水平接触面
桌子、其他重要的水平接触面按照以上介绍的清扫方法选择合适的方式进行。使用药液从区域向一般区域方向擦拭，除去脏污。
椅子、家具
擦拭按从上到下的顺序进行。垫子、支架及车轮也在清扫的范围之内。
制定清扫流程
制定清扫流程是要先将各种无尘室的接触面进行等级分类，并了解不同表面的污染速度。清扫流程根据无尘室要求的洁净度制定合适的清扫频率。对表面污染进行试验和评估之后，做成流程手册。对无尘室内的制造工程、产品要求事项、清扫频率（每日一次/每周一次或其他频率）等进行相关规定。
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