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※无尘室定义
无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
无尘室依等级的不同，对一定空间内的微尘粒子大容许量亦有一定规范，在国际标准中常用的规范有
Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格为Fed-Std-209E及ISO-14644的等级定义。
※Fed-Std-209E洁净度定义
※ISO-14644洁净度定义
ISO的等级划分，定义了微粒的粒径是从 0.1mm到 5mm，在此范围之外就不列入等级表，但是另定义有超微粒子与超大粒子针对范围外粒子。ISO 等级本身归类为 ISO Class 1 到 ISO Class 9，其允许上限的定义是大于等于该粒径的微粒数，数目字如下表，单位是每立方米的微粒数。
比较以上两表我们可看出：
1.209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆。
2.在两表中0.5μm几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径0.5μm的粒子非常具有代表性。
3.在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范围比209E都来的广，因此具有未来性。
过滤器泄漏测试流程
(光度计法)
一，目的
确保过滤器系统正确安装，通过验证安装和已安装的过滤器无缺陷、无细微泄漏 。
二，仪器和设备
ATI光度计，型号：ATI 2E
ATI 气溶胶发生器， ATI 5B / ATI 4B
挑战气溶胶： Emery 3004
三，状态说明
测试条件：静态
进风口浓度：
小值 20 毫克/升
范围 40 ~ 60 毫克/升
大渗透值 <进风口浓度的0.01%
四，流程
参考： NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms,
- 2nd Edition
扫描试验法
1.光度计和气溶胶发生器将根据制造商的指令设置。
2.气溶胶发生器产生Emery 3004 气溶胶， 在过滤器上游。.
3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。
4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透值量。
过滤器泄漏测试流程
(光度计法)
5.使用矩形粒子计数器测头扫描过滤器，测头等速取样，扫描速度约为50毫米/秒。
6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后，挑战气溶胶的测试一致。
7.本行将对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。
气溶胶总渗透法
1.光度计和气溶胶发生器，将按照生产商的指令设置。
2.用气溶胶发生器将气溶胶3004释放在过滤器上游，热气溶胶发生器用于高流量。
3.测量上游浓度，单位：微克/升。采样点(受地理位置条件约束)位于被测试的过滤器上面 ，如有需要将作出适当调整，以确保浓度在范围内。
4.一旦上游浓度达到满足并设置，将用光度计测量下游渗透量。
5.对下游的空气进行采样，确定大渗透水平。
6.再次对上游挑战气溶胶浓度进行采样，确保整个测试完成后挑战气溶胶的测试一致。
7.对每个符合规范要求的HEAP过滤器发出合格证明书。
NEBB第三方检测认证前客户的准备工作； 1，准备洁净服和洁净室需要的穿戴用具及洁净小推车； 2，需提前做好人员和仪器进厂预约登记，根据现场认证完成情况提前开具人员和仪器出门单等手续； 3，保持洁净室的净化系统正常运行少24小时以上，保持洁净室的清洁和清扫； 4，检查风机系统是否在工作正常，对故障的风机提前做好处理和更换。并根据风机的送风档位提前进行调节，以避免风机送风过高或过低，节约现场时临时调节时间； 5，查看温湿度数据，如有偏差提前进行调节； 6，对装有散流罩的过滤器需要检测风速和扫漏的（如有），需要安排人员进行拆装配合； 7，确认检测认证和验收标准（除洁净度以外的项目标准）; 8，有条件的提前备上过滤器总数量的5%-10%（少3%）作为更换过滤器备用；9，层高4米的需要提前准备登高辅助装置或安排； 10，检测认证具体开始时间、现场对接的详细地址和联系人等信息
